原標題：全省首條12英寸集成電路用大硅片生產線通線

來源：大眾報業(yè)·大眾日報

原標題：全省首條12英寸集成電路用大硅片生產線通線

來源：大眾報業(yè)·大眾日報

10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業(yè)化項目在德州天衢新區(qū)實現(xiàn)通線，這是山東第一條12英寸集成電路用大硅片生產線，標志著山東在完善集成電路產業(yè)鏈建設上邁出了關鍵一步。該項目全部達產后將形成120萬片/年的生產規(guī)模。

10月15日，記者在山東有研艾斯生產車間看到，單晶硅棒被切割成厚度僅一毫米直徑約305毫米（12英寸）的硅片，再經過倒角、研磨等40-50道工序，最終硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不能超過0.1微米。山東有研艾斯總經理閆志瑞指著一片硅片向記者介紹，硅片即“晶圓”，相當于芯片的“地基”。與芯片越小科技含量越高的制程工藝不同，硅片是越大則對材料和技術的要求越高。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，單片產出的芯片數(shù)量和經濟效益明顯增加。

隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細化，12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。

2018年以來，中國有研科技集團在山東德州投資近百億元，落地7個項目，已投產4個。2020年，8英寸集成電路用大硅片通線量產，再到今天12英寸集成電路用大硅片產業(yè)項目通線，山東德州成為有研在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務領域最廣的科技成果轉化基地。德州天衢新區(qū)依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”，打造中國集成電路關鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地。

企業(yè)投資持續(xù)“加碼”，中國有研科技集團有限公司黨委委員、副總經理周旗鋼信心十足，“投資項目進展順利、運行正常，事實證明當初選擇山東、選擇德州是正確的。”他表示，德州將有研作為鏈主企業(yè)重點培育，精心建設專業(yè)園區(qū)，形成了較為完善的半導體產業(yè)生態(tài)，“有研也將充分發(fā)揮頭部效應，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。”

據(jù)悉，德州近五年來，半導體產業(yè)產值年均增長近20%。山東有研入選省級“雁陣形”產業(yè)集群領軍企業(yè)庫，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群和特色產業(yè)集群，已成為全省半導體產業(yè)高質量發(fā)展的重要增長極，一批高端優(yōu)質項目聚“鏈”成“群”，蓬勃發(fā)展。

（大眾日報記者 賀瑩瑩 通訊員 韓哲 報道）

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