新華社上海９月１０日電（記者王琳琳、劉暢）１０日，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院建設(shè)的８英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式啟動，填補了我國微機電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗生產(chǎn)線的空白。

隨著硅的工藝發(fā)展趨近于其物理瓶頸以及成本制約，業(yè)內(nèi)專家認為，“超越摩爾”時代已經(jīng)來臨，傳統(tǒng)摩爾定律或?qū)⒚媾R顛覆，將不再局限于依靠尺寸改變?nèi)ネ七M集成電路制程節(jié)點，材料、工藝、結(jié)構(gòu)等多維度的創(chuàng)新更加重要。

微機電系統(tǒng)智能傳感器，是一種新型傳感器，具有小體積、低成本、集成化、智能化等優(yōu)點，領(lǐng)跑傳感器飛速發(fā)展。

傳感器，位于整個物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)層，是數(shù)據(jù)采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。據(jù)《２０１６－２０１７年中國物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展年度報告》，目前我國約６０％的傳感器依賴進口，微機電系統(tǒng)智能傳感器幾乎全部依賴進口。

中國科協(xié)副主席、上海微技術(shù)工業(yè)研究院創(chuàng)始人王曦院士認為，要擺脫微機電系統(tǒng)智能傳感器對進口的嚴重依賴、實現(xiàn)我國芯片產(chǎn)業(yè)的自主可控，當務(wù)之急是要建自主的８寸研發(fā)中試線。

８英寸研發(fā)中試線廠長游家杰說，我國微機電系統(tǒng)智能傳感器科研實力并不弱，沒有開發(fā)出領(lǐng)先產(chǎn)品是因為中試環(huán)節(jié)出現(xiàn)了斷檔。

游家杰介紹，新建成的研發(fā)中試線，目前規(guī)定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)３０００片左右晶圓，后期將達到５０００片。“我們可以支撐用戶從幾百片到上千片的產(chǎn)能需求，小規(guī)模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉(zhuǎn)移給大型代工廠，開始規(guī)模量產(chǎn)。”

據(jù)介紹，目前，研發(fā)中試線專注于微機電系統(tǒng)智能傳感器研發(fā)，未來將拓展至“超越摩爾”新型非數(shù)字、多元化半導體產(chǎn)品技術(shù)的創(chuàng)新，例如，高壓器件、生物醫(yī)療晶片等。

[責任編輯：楊凡、徐紅梅]

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